隨著美國政府聯(lián)手其他國家收緊出口管制政策，中國企業(yè)進(jìn)口光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備正面臨越來越大的困難。

當(dāng)?shù)貢r間9月5日，美國商務(wù)部下屬的工業(yè)與安全局（BIS）發(fā)布公告，出于“國家安全和外交政策”的考慮，更新量子計算、半導(dǎo)體制造和其他先進(jìn)技術(shù)的管制政策清單，共計133頁，這進(jìn)一步加強(qiáng)了美國對華量子計算、半導(dǎo)體制造等科技出口限制，涉及量子計算機(jī)及其相關(guān)設(shè)備、先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備必需的工具和設(shè)備、GAAFET（3nm及以內(nèi)芯片制造工藝）技術(shù)以及增材制造項目等。

BIS表示，此份文件規(guī)則自2024年9月6日起生效。

美國BIS副局長艾倫·埃斯特維茲（Alan Estevez）表示，此次行動確保美國出口管制與快速發(fā)展的技術(shù)保持同步，也確保了美國與國際伙伴合作時，出口管制更加有效。

隨后，荷蘭政府也“對齊”美國出口管制政策，實(shí)施所有的光刻機(jī)出口審批。9月6日，荷蘭光刻機(jī)龍頭ASML（阿斯麥）對鈦媒體App展示一份聲明中回應(yīng)：

“荷蘭政府于今日發(fā)布了有關(guān)浸潤式 DUV（深紫外）光刻設(shè)備出口的最新許可證要求。ASML認(rèn)為，這項新要求將使出口許可證的發(fā)放方式更協(xié)調(diào)統(tǒng)一。根據(jù)更新后的許可證發(fā)放要求以及美國《出口管理條例》第734部分的第4.(a).(3)節(jié)的規(guī)定，ASML將需要向荷蘭政府而非美國政府申請 TWINSCAN NXT:1970i 和 1980i 型號浸潤式DUV光刻系統(tǒng)的出口許可證。之前，荷蘭政府已經(jīng)開始對 TWINSCAN NXT:2000i 及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)實(shí)施出口許可證要求。ASML EUV 光刻系統(tǒng)的銷售也受到出口許可證要求的限制。荷蘭政府公布的最新許可證要求將于 2024 年 9 月 7 日生效。由于這是一項流程性變更，ASML預(yù)計該公告不會對我們 2024 年的業(yè)績預(yù)期或 2022 年 11 月投資者日上公布的公司長期前景產(chǎn)生重大影響。”

換句話說，未來，如果由美國政府和荷蘭政府共同審批的話，ASML的先進(jìn)EUV（極紫外）、部分DUV光刻機(jī)設(shè)備都不太可能向中國銷售了。

針對上述消息，中國外交部發(fā)言人毛寧9月6日表示，中方一貫反對美國將經(jīng)貿(mào)科技問題政治化、武器化。我們認(rèn)為，對正常的技術(shù)合作和經(jīng)貿(mào)往來人為地設(shè)置障礙，違反市場經(jīng)濟(jì)原則，擾亂全球產(chǎn)供鏈穩(wěn)定，不符合任何一方的利益。

9月8日，中國商務(wù)部新聞發(fā)言人就此表示，中方注意到相關(guān)情況。近來，中荷雙方就半導(dǎo)體出口管制問題開展了多層級、多頻次的溝通磋商。荷方在2023年半導(dǎo)體出口管制措施的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步擴(kuò)大對光刻機(jī)的管制范圍，中方對此表示不滿。近年來，美國為維護(hù)自身全球霸權(quán)，不斷泛化國家安全概念，脅迫個別國家加嚴(yán)半導(dǎo)體及設(shè)備出口管制措施，嚴(yán)重威脅全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定，嚴(yán)重?fù)p害相關(guān)國家和企業(yè)正當(dāng)權(quán)益，中方對此堅決反對。荷方應(yīng)從維護(hù)國際經(jīng)貿(mào)規(guī)則及中荷經(jīng)貿(mào)合作大局出發(fā)，尊重市場原則和契約精神，避免有關(guān)措施阻礙兩國半導(dǎo)體行業(yè)正常合作和發(fā)展，不濫用出口管制措施，切實(shí)維護(hù)中荷企業(yè)和雙方共同利益，維護(hù)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定。

再加碼！美國政府不僅更新管制新規(guī)，還讓荷蘭“對齊”出口限制

原本預(yù)期在10月美國BIS更新的 AI 半導(dǎo)體出口管制規(guī)定，突然提前一個多月快速落地實(shí)施。

9月5日，美國商務(wù)部BIS更新出口管制規(guī)定，加緊對量子計算和半導(dǎo)體制造設(shè)備等關(guān)鍵技術(shù)的出口管制。美國商務(wù)部表示，該部正在全球范圍內(nèi)對量子計算機(jī)和制造先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備所需的機(jī)器等特定類型的產(chǎn)品實(shí)施出口限制，但是對日本等采取類似措施的國家例外。

BIS在“商務(wù)管制清單”文件中增加和修訂了出口管制物項的分類編號 (ECCNs)，對半導(dǎo)體制造設(shè)備、量子計算機(jī)技術(shù)及其相關(guān)設(shè)備、增材制造設(shè)備、GAAFET技術(shù)、量子計算特定材料和電子組件、以及軟件和特定半導(dǎo)體制造與量子計算設(shè)備開發(fā)的技術(shù)，相關(guān)物項均進(jìn)行全球范圍內(nèi)的出口管制。

根據(jù)文件，涉及物項包括2B910（增材制造設(shè)備），2D910（增材制造設(shè)備的“軟件”），3A901（電子組件），3A904（低溫冷卻系統(tǒng)）、3B001（半導(dǎo)體制造設(shè)備），3B903（掃描電子顯微鏡），3B904（低溫晶圓探測設(shè)備），3C907、3C908、3C909（特定材料），3D901、3D907（量子計算相關(guān)的“軟件”），3E901、3E905（量子計算和GAAFET技術(shù)的“技術(shù)”），4A906（量子計算機(jī)及相關(guān)組件），4D906（量子計算機(jī)相關(guān)組件的“軟件”）。4E906（量子計算機(jī)相關(guān)組件的“技術(shù)”），這些都會納入新的BIS審批獲準(zhǔn)當(dāng)中。

同時，BIS 還新增了 “國家安全” 和 “地區(qū)穩(wěn)定” 兩項全球許可證要求，從美國出口這些物項到全球所有國家都需要向美國申請許可。具體來說，對參加了瓦森納出口管制協(xié)定國家，原則上允許出口，而對美國指定的 “國家安全” 相關(guān)國家或 “武器禁運(yùn)國家”，例如中國，則是假定拒絕出口，對于其他國家，則是一事一議的原則。

進(jìn)一步，BIS 為 “志同道合” 的國家提供了豁免，即 “許可證豁免的出口管制”(IEC) 機(jī)制，各國如果實(shí)施和美國等效的出口管制，滿足了 IEC 的要求，那么美國將豁免對這些國家的出口許可要求。目前，意大利、英國、澳大利亞、加拿大、日本、西班牙、法國和德國等8個國家的20個物項將有特別的許可豁免權(quán)。

值得注意的是BIS文件中提到關(guān)于GAAFET（全環(huán)柵晶體管）部分，這將影響國內(nèi) GPU/AI 芯片研發(fā)和量產(chǎn)。

事實(shí)上，GAAFET是一種先進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)，用于制造更小、更高效的晶體管，目前大體可以制造4nm、3nm、2nm以及1nm芯片產(chǎn)品。當(dāng)前涉及此技術(shù)的上中游產(chǎn)業(yè)鏈主要包括全球兩大晶圓代工龍頭（三星、臺積電），三大EDA龍頭（Synopsys新思科技、Cadence楷登科技、以及西門子EDA），這些公司均掌握此技術(shù)，而蘋果、英偉達(dá)等企業(yè)都正在量產(chǎn)基于GAAFET的芯片。而文件中指出，BIS正在對涉及GAAFET技術(shù)的某些項目實(shí)施出口控制，以保護(hù)國家安全和外交政策利益。

不僅更新了管制新規(guī)，同一時間，美國政府還讓荷蘭“對齊”出口限制。

9月6日，荷蘭政府發(fā)布有關(guān)浸潤式 DUV光刻設(shè)備出口的最新許可證要求，主要涉及荷蘭光刻機(jī)龍頭ASML的產(chǎn)品，預(yù)計該限令將于9月7日生效。

對此，荷蘭貿(mào)易部長雷內(nèi)特·克萊弗（Reinette Klever)表示：“這一決定是為了我們的安全。我們認(rèn)為，由于技術(shù)的進(jìn)步，這些特定生產(chǎn)設(shè)備的出口存在更多的安全風(fēng)險，尤其是在當(dāng)前地緣政治環(huán)境的背景之下?！?/p>

此前，荷蘭首相肖夫（Dick Schoof）表示，荷蘭政府在決定進(jìn)一步收緊ASML設(shè)備對華出口規(guī)則時，將考慮到該公司的經(jīng)濟(jì)利益。

“我們正在進(jìn)行談判，良好的談判，我們也在特別關(guān)注ASML的經(jīng)濟(jì)利益，這些利益需要與其他風(fēng)險進(jìn)行權(quán)衡，而經(jīng)濟(jì)利益是極其重要的”。肖夫補(bǔ)充說，“對荷蘭來說，ASML是一個極其重要的創(chuàng)新企業(yè)，在任何情況下都不應(yīng)受到影響，因為這將損害ASML的全球地位”。

知情人士稱，肖夫領(lǐng)導(dǎo)的荷蘭政府很可能不會在ASML某些在華維修和提供備件的許可證于2024年底到期后為其續(xù)期，預(yù)計將涉及ASML的頂級DUV（深紫外）光刻機(jī)。對此肖夫不予置評。

實(shí)際上，在美國的壓力下，荷蘭政府從未允許ASML向中國客戶出口其最先進(jìn)的EUV設(shè)備，并從2023年9月開始要求NXT:2000系列及更好的DUV設(shè)備需要出口許可。2023年10月，美國單方面開始限制ASML 1970i和1980i工具的出貨。

ASML已警告中國客戶，從2024年起不預(yù)期再交付這些設(shè)備。

據(jù)財新，金杜律師事務(wù)所合規(guī)業(yè)務(wù)部貿(mào)易法合伙人戴夢皓表示，美國新增的這批全球管制物項在之前幾輪對中國的管制中已經(jīng)基本覆蓋到了，因此本次美國的新政策對中國產(chǎn)業(yè)的新影響不大。但是，這樣的新規(guī)利于美國未來進(jìn)一步收緊出口管制，對日本和荷蘭等半導(dǎo)體材料和設(shè)備生產(chǎn)國施加更大壓力。

總結(jié)看，此次BIS文件主要涉及量子計算的全產(chǎn)業(yè)鏈體系，也就是美國政府希望全面限制中國發(fā)展量子計算技術(shù)，同時，通過與荷蘭、日本“對齊”出口管制方式，美國芯片產(chǎn)業(yè)鏈全面斷絕中國獲取海外先進(jìn)制程芯片所需的設(shè)備、材料等。

一位EDA行業(yè)人士向鈦媒體App透露，目前EDA三巨頭已經(jīng)限制國內(nèi)設(shè)計企業(yè)的GAAFET IP和EDA軟件采購，因此，此輪管制對于國內(nèi)EDA方面影響有限，但長期來看，中國企業(yè)很難再擁有研發(fā)先進(jìn)制程芯片的EDA軟件。

“我們本來就對放寬半導(dǎo)體出口沒什么期待了?！鄙鲜鋈耸糠Q。

ASML CEO：美國對華出口管制更像是“出于經(jīng)濟(jì)動機(jī)”

光刻機(jī)龍頭對于美國出口管制表達(dá)反對意見。

據(jù)觀察者網(wǎng)，9月4日，ASML公司首席執(zhí)行官克里斯托夫·富凱（Christophe Fouquet）當(dāng)天在紐約花旗銀行的會議上表示，隨著時間推移，美國以“國家安全”之名實(shí)施的對華出口管制變得更像是“出于經(jīng)濟(jì)動機(jī)”。

“要證明這事關(guān)國家安全，越來越難了?！备粍P預(yù)測，未來反對美國管制的聲音將越來越多。“很可能會有更大的限制壓力，但同時也會出現(xiàn)更多反對聲”，在富凱看來，企業(yè)希望能達(dá)到一個平衡，因為做生意需要“一點(diǎn)確定性，一點(diǎn)穩(wěn)定性”。

ASML現(xiàn)任CEO Christophe Fouquet

今年4月，富凱從彼得·溫寧克手中接棒，成為ASML的掌舵人。早前富凱對日經(jīng)新聞表示，他不相信ASML能做到脫鉤，全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈脫鉤“極其困難且極其昂貴”，任何一個國家都很難獨(dú)立建立芯片產(chǎn)業(yè)。

富凱的前任溫寧克卸任后也多次公開表達(dá)了對美國出口管制的反對，認(rèn)為美國的出口管制反而會促進(jìn)中國更努力地追趕。今年7月初，溫寧克表達(dá)了與富凱類似的觀點(diǎn)，美國對華發(fā)動的芯片戰(zhàn)是基于意識形態(tài)的而非事實(shí)，他預(yù)計美國對中國的刻意打壓將持續(xù)下去。

中國是ASML全球第三大市場，有消息稱，ASML在中國約占其目前積壓訂單的20%。ASML此前有透露，到2023年底，ASML 在中國的光刻機(jī)加上量測的機(jī)臺裝機(jī)量接近1400臺。

早在2018年，就有報道稱，美國向荷蘭政府施壓，要求ASML停止向中國出口先進(jìn)光刻機(jī)。近幾年，美國更是將出口管制直接擺在臺面上，以“國家安全”為由，不斷收緊對華芯片出口管制措施。去年10月，美國單方面發(fā)布臨時最終規(guī)則，限制ASML對華出口部分中端DUV機(jī)器。

2024年1月，在ASML的財報會上，較NXT1980i更落后的NXT1970i也明確不能賣給中國。ASML CFO Roger Dassen表示，少部分中國晶圓廠無法取得NXT：1970i和NXT：1980i兩個型號光刻系統(tǒng)的出口許可。ASML此前就曾表示NXT：1980i無法出口給部分中國晶圓廠，而NXT：1970i無法出口給中國是首次公開提出。

根據(jù)ASML投資者交流文件顯示，NXT：1970i首次出貨的時間是2013年，是2016年首次出貨的NXT：1980i的上一代產(chǎn)品，兩者對準(zhǔn)精度（Matched Machine Overlay）分別為3.5nm和2.5nm，每小時晶圓產(chǎn)能分別為275片和最高達(dá)330片。目前中國晶圓廠只能從ASML購得2013年首次出貨的NXT：1965Ci型號光刻系統(tǒng)，其對準(zhǔn)精度為4.5nm，每小時晶圓產(chǎn)能最高為275片。

如今，隨著美國政府聯(lián)手荷蘭、日本等國不斷收緊對華芯片出口管制措施，中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈將面臨更嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。

對于美國新的出口管制措施，中國外交部發(fā)言人曾多次表示，中方一貫反對美國泛化國家安全概念，以各種借口脅迫其他國家搞對華科技封鎖。半導(dǎo)體是高度全球化的產(chǎn)業(yè)，在各國經(jīng)濟(jì)深度融合的背景下，美方有關(guān)霸道、霸凌行徑嚴(yán)重違背國際貿(mào)易規(guī)則，嚴(yán)重破壞全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局，嚴(yán)重沖擊國際產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的安全和穩(wěn)定，必將自食其果。

環(huán)球時報在此前社評‘“小院高墻’倒逼世界‘去美國化’”文章中指出，美國不斷升級對華出口管制，旨在遏制中國在高科技領(lǐng)域的發(fā)展勢頭，保持美國在全球科技產(chǎn)業(yè)鏈中的領(lǐng)導(dǎo)地位。這種做法嚴(yán)重干擾全球芯片產(chǎn)供鏈秩序。美國通過所謂“芯片外交”，與盟友建立緊密的半導(dǎo)體供應(yīng)鏈合作，試圖構(gòu)建一個排除中國的高科技產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域國際聯(lián)盟。然而，全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈深度綁定，想人為創(chuàng)造一個沒有中國的世界，只是一種政治狂想。美國要求盟友國家收緊對中國芯片制造設(shè)備的維護(hù)服務(wù)，這對包括ASML、東京電子等在內(nèi)的關(guān)鍵設(shè)備供應(yīng)商以及英特爾、高通、英偉達(dá)等美國芯片企業(yè)產(chǎn)生了直接影響。芯片產(chǎn)業(yè)是全球高科技產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，其穩(wěn)定性直接關(guān)系到電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和創(chuàng)新。美國對中國的遏制打壓，傷害的是全球，更是會傷害它自己。

重視本土芯片，中國大陸上半年掃貨250億美元超越美韓臺總和

站在行業(yè)角度來看，近兩年美國商務(wù)部不斷升級對華芯片出口限制下，中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈一面加大研發(fā)和國產(chǎn)化力度，加速芯片本土化生產(chǎn)；另一面則增加設(shè)備支出，加緊對于設(shè)備的進(jìn)出口和二手采購。

據(jù)觀察者網(wǎng)引述國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會（SEMI）的數(shù)據(jù)顯示，今年前6個月，中國大陸在芯片制造工具上的支出達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的250億美元，且在7月份保持了強(qiáng)勁的支出勢頭，超過了美國、韓國和臺灣地區(qū)的總和，預(yù)計全年總支出將達(dá)到500億美元，有望再次刷新年度紀(jì)錄。

報道稱，隨著中國正在大力推動芯片供應(yīng)本土化，全球經(jīng)濟(jì)放緩之際，中國大陸是唯一一個芯片制造設(shè)備支出同比繼續(xù)增加的地區(qū)。

SEMI報告還顯示，2024年第二季度，全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額同比增長4%，達(dá)到268億美元，同期環(huán)比微幅增長1%。其中，中國大陸今年第二季度半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額122.1億美元，同比大增62%。

SEMI總裁兼首席執(zhí)行官阿吉特·馬諾查（Ajit Manocha）表示：“2024年上半年，全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨總額為532億美元，反映了迄今為止整個行業(yè)的健康狀況。在戰(zhàn)略投資的推動下，半導(dǎo)體設(shè)備市場已經(jīng)恢復(fù)增長，以支持對先進(jìn)技術(shù)的持續(xù)強(qiáng)勁需求，各個地區(qū)也在致力于加強(qiáng)其芯片制造生態(tài)系統(tǒng)?！?/p>

中國海關(guān)總署上月發(fā)布統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2024年1-7月，中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口再創(chuàng)新高，進(jìn)口半導(dǎo)體制造設(shè)備3.6萬臺，相比去年增加了17.1%，金額達(dá)1638.6億元，同比增長51.5%。同期，中國的半導(dǎo)體進(jìn)口量也在持續(xù)擴(kuò)大，二極管及類似半導(dǎo)體器件進(jìn)口總量為2859億個，同比增長12.4%，價值達(dá)964億元，集成電路進(jìn)口總量為3081億片，同比增長14.5%，價值15067億元。

SEMI市場情報高級主管曾瑞榆（Clark Tseng）指出：“我們看到中國繼續(xù)為其新的成熟制程節(jié)點(diǎn)（Mature Node）芯片制造設(shè)施購買所有設(shè)備。對潛在的進(jìn)一步限制（出口管制）的擔(dān)憂，也促使他們提前購買更多設(shè)備?！彼€表示，中國在芯片生產(chǎn)設(shè)備上的創(chuàng)紀(jì)錄投資，不僅是由中芯國際等芯片制造商推動的，也得益于中小芯片制造商的增長勢頭。至少有十多家二級芯片制造商也在積極購買新工具。這共同推動了中國的整體支出。

據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）預(yù)測，2024年全球芯片制造設(shè)備銷售額將達(dá)到1090億美元，其中中國預(yù)計將占三成以上，是最大的市場。

由于市場對存儲芯片的需求復(fù)蘇和對 AI 相關(guān)芯片的需求激增，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將復(fù)蘇增長20%左右，“我們預(yù)計2025年將再增長20%?！痹鹩苷f。

另據(jù)WSTS數(shù)據(jù)預(yù)測，2024年，全球半導(dǎo)體行業(yè)年銷售額將增長 16.0%，2025 年將增長 12.5%，遠(yuǎn)超出此前預(yù)期。

今年7月，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會理事長陳南翔表示，過去，中國在發(fā)展集成電路的進(jìn)程中走了很多的彎路。而中國現(xiàn)在需要的是一種產(chǎn)業(yè)，需要創(chuàng)新的產(chǎn)業(yè)、創(chuàng)新的服務(wù)以及創(chuàng)新的商業(yè)模式，從而轉(zhuǎn)變?yōu)樽罱?jīng)濟(jì)的商業(yè)價值，這是兩種完全不同的路徑。

“我們在花了很長一段時間的摸索之后，中國無論是從政策的主導(dǎo)者還是產(chǎn)業(yè)利益的相關(guān)方，都明白了什么樣的方式是促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的最佳模式。雖然不能說我們已經(jīng)找到了產(chǎn)業(yè)發(fā)展的最佳模式，但是最起碼，我們已經(jīng)知道了什么樣的模式是注定要失敗的，經(jīng)歷了很長時間的試錯后，現(xiàn)在我們可以相信在未來集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展中一定正孕育著一個巨大的成功模式，大家一起拭目以待?！标惸舷璺Q。

陳南翔預(yù)測，在摩爾定律不再奏效的同時，中國將受益于新的封裝技術(shù)。憑借在應(yīng)用和封裝技術(shù)方面的優(yōu)勢，盡管中國芯片產(chǎn)業(yè)目前還沒有達(dá)到爆發(fā)式增長，但那一天終究會到來，中國的芯片產(chǎn)業(yè)將在3至5年內(nèi)實(shí)現(xiàn)“爆炸式增長”，為中國克服美國的技術(shù)限制開辟道路。

（作者｜林志佳，編輯｜胡潤峰）